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该波导集成型Bi2O2Se探测器具有暗电流低、联标流电响应度大、噪声等效功率低、响应速度快、频谱响应宽等特点。波导集成型光电探测器是硅基光电子芯片中的一个重要元件，性直实现光信号到电信号转换的功能，是光子、电子芯片的连接枢纽。

受限于晶格常数、网合热膨胀系数等参数的差异，导致在硅上外延生长光敏材料存在困难，不易实现单片集成，且光敏材料的外延成本较高。采用光学显微镜、并单拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、X射线能谱分析仪、透射电子显微镜表征了剥离之后Bi2O2Se材料特性